- /
- 設備・機器分類
- /
- 加工・処理
加工・処理 一覧
検索結果226件
-
[491]エキシマ洗浄装置
ウェハや石英モールド上の有機物の除去
- 型式
- デアネヒステ EXC-1201-DN
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
-
[492]ウォーターレーザ
シリコンウェハや金属薄板の加工（ガラスなどの透明材料はNG）、最小加工線幅：約7…
- 型式
- 澁谷工業 LAMICS AQL-1900
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
-
[500]ウェハプローバ〔リンク〕
デバイスの電気特性測定
- 型式
- 東京精密 EM-20A
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
-
[503]エリプソ
薄膜の厚さ、屈折率測定
- 型式
- アルバック -
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
-
[504]赤外線顕微鏡
両面アライメントの確認、ウェハ接合面のボイド評価等
- 型式
- オリンパス/浜松ホトニクス -
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
-
[505]四重極質量分析装置〔リンク〕
プロセス中の残留ガスのモニタ等
- 型式
- キヤノンアネルバ M-101QA-TDM
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
-
[507]クイックコータ
SEM観察試料のPtコーティング
- 型式
- サンユー電子 SC-701MkII
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
-
[508]卓上型エリプソ
高速サンプリング可能なエリプソ
- 型式
- フォトニックラティス SE-101
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
-
[510]レーザ／白色光共焦点顕微鏡
3次元表面形状測定、DeepRIEのエッチ深さ測定、レーザ光／白色の切替可能、共…
- 型式
- レーザーテック OPTELICS HYBRID LS-SD
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
-
[512]直線集束ビーム超音波材料解析システム#2〔リンク〕
固体試料のバルク波（縦波、横波）音速測定
- 型式
- ー
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
-
[519]ペガサスA〔リンク〕
- 型式
- SPPテクノロジーズ MPX Pegasus-Advanced
- 所在
- 工学研究科（機械・知能系） / 青葉山キャンパス
-
[523]断面試料作製研磨装置〔リンク〕
- 型式
- クノーテクノクラフト TIC3X-KN-SP
- 所在
- 工学研究科（機械・知能系） / 青葉山キャンパス
