微細加工・デバイス作製・評価 一覧
検索結果90件
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[500]ウェハプローバ〔リンク〕
デバイスの電気特性測定
- 型式
- 東京精密 EM-20A
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[505]四重極質量分析装置〔リンク〕
プロセス中の残留ガスのモニタ等
- 型式
- キヤノンアネルバ M-101QA-TDM
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[512]直線集束ビーム超音波材料解析システム#2〔リンク〕
固体試料のバルク波（縦波、横波）音速測定
- 型式
- ー
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[519]ペガサスA〔リンク〕
- 型式
- SPPテクノロジーズ MPX Pegasus-Advanced
- 所在
- 工学研究科（機械・知能系） / 青葉山キャンパス
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[523]断面試料作製研磨装置〔リンク〕
- 型式
- クノーテクノクラフト TIC3X-KN-SP
- 所在
- 工学研究科（機械・知能系） / 青葉山キャンパス
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[524]ダイサー〔リンク〕
- 型式
- ディスコ DAD3240
- 所在
- 工学研究科（機械・知能系） / 青葉山キャンパス
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[525]SPT-RIE装置〔リンク〕
- 型式
- SPPテクノロジーズ MUC-21 ASE-SRE-TO
- 所在
- 工学研究科（機械・知能系） / 青葉山キャンパス
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[563]プラズマアッシャー（PR500）
高周波出力:500W,反応ガス:O2
- 型式
- ヤマト科学 PR500
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
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[564]UVオゾンクリーナー（UV-1）
用途：試料表面のクリーニングやアッシング
- 型式
- サムコ UV-1
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
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[565]プラズマアッシャー（V-1000TS）
用途：試料表面のクリーニングやアッシング性能：プラズマモードDP/RIE、ガス…
- 型式
- ヤマト科学 V1000-TS
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
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[566]マスクアライナー（MJB-4）
基板サイズ5mm角から最大3インチ角、マスクサイズ：2インチ角から4インチ角、…
- 型式
- SUSS MJB-4
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
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[567]金属顕微鏡（MX50）
用途：フォトリソグラフィプロセス全般（レジスト塗布、ベーキング、現像、パターン確…
- 型式
- オリンパス MX50A/T
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
