微細加工・デバイス作製・評価 一覧
検索結果218件
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[1007]スパッタ装置
- 型式
- アルバック九州(株) QAM-4-S
- 所在
- 材料科学高等研究所 / 片平キャンパス
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[1019]段差計
- 型式
- ﾌﾞﾙｶｰﾅﾉ社 DektakXT
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
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[1020]分光エリプソメトリ
- 型式
- ｾﾐﾗﾎﾞ社 SE2000
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
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[109]電子線描画装置（JBX-9300SA）
加速電圧100kV,5mm~6inchウエハ対応
- 型式
- 日本電子 JBX-9300SA
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
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[1108]BEAMER Full Package〔リンク〕
電子線描画装置、レーザー描画装置用データ補正・近接効果補正・グレイスケール露…
- 型式
- GenISys Inc.
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[1109]KrFステッパ〔リンク〕
サンプルサイズ：小片～8インチ対応オリフラ(OF)：4""と6""インチはOF…
- 型式
- キヤノン FPA-3030EX6
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[1110]マスクレスアライナ#2〔リンク〕
高速直接描画波長：405nmまたは375nm最小描画線幅：1.0µmオプテ…
- 型式
- Heidelberg Instruments MLA150
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[1111]NLDエッチング装置〔リンク〕
シリコン系以外の圧電体やガラス、サファイア、SiCなどのドライエッチングサンプ…
- 型式
- アルバック NLD-5700
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[1112]KLA Tencor 段差計〔リンク〕
触針式の表面形状測定サンプルサイズ：小片～8インチ
- 型式
- KLA Tencor P-16OF+
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[1113]日立FE-SEM〔リンク〕
電子線走査型顕微鏡小片～8インチΦ（全面観察は6インチΦまで）EDX付、低真…
- 型式
- 日立ハイテク SU8600
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[112]高電圧パルス選択性粉砕装置
パルス電圧：90-200kVパルス周波数：1-5Hz電極ギャップ：10-40…
- 型式
- SELFRAG AG SELFRAG Lab S2.0
- 所在
- 多元物質科学研究所 / 片平キャンパス
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[113]ウェットベンチ(無機用・高清浄)
シリコングレード専用
- 型式
- 日立プラント HNCD-4-SL #1
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
