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検索結果103件
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[568]レーザー顕微鏡（1LM21）
用途：フォトリソグラフィプロセス全般（レジスト塗布、ベーキング、現像、パターン確…
- 型式
- レーザーテック 1LM21
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
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[582]AFM（nano cute）
用途：表面形状観察
- 型式
- 日立ハイテクサイエンス nano cute
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
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[583]段差計（DEKTAK XT-A)
用途：試料表面に形成された段差、表面形状、表面粗さ評価
- 型式
- Bruker DEKTAK XT-A
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
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[590]ワイドレンジナノ形状測定システム（Si室）
紫外レーザ顕微鏡、波長408nm。最大光学ズーム倍率6倍。観察視野21～560n…
- 型式
- 島津製作所 FT-3500
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
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[591]4探針抵抗率測定器（Si室）
プローブ間隔0.635mm。プローブ先端曲率40ミクロン。最大針圧200g。
- 型式
- ナプソン RT-70/RG-7
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
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[593]原子スケール評価分析システム（Si室）
反射高速電子回折（RHEED）。最大加速電圧は0kV。最大試料サイズ4mm角ある…
- 型式
- Omicron
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
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[604]原子間力顕微鏡（Veeco）
●用途走査型プローブ顕微鏡の探針によるナノメートルスケールの加工機能・…
- 型式
- Bruker Dimension Icon
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
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[605]レーザー共焦点顕微鏡（Lasertec）
●用途試料表面のマイクロ～ナノメートルスケールの段差や粗さの非接触測定●…
- 型式
- レーザーテック H1200
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
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[637]熱拡散測定装置
温度範囲：室温～500°C、熱拡散率：0.01mm2/s～2000mm2/s
- 型式
- Netzsch LFA467
- 所在
- 金属材料研究所 / 片平キャンパス
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[638]ナノインデンター
荷重範囲：100nN～10N(約10μg～1kg)測定モード：準静的モードおよ…
- 型式
- 東陽テクニカ G200
- 所在
- 金属材料研究所 / 片平キャンパス
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[639]集束イオンビーム加工観察装置
最大電流密度：50A/cm加速電圧：2-40kV日立HF-2000形…
- 型式
- 日立ハイテク FB2100
- 所在
- 金属材料研究所 / 片平キャンパス
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[641]超高分解能電界放出形インレンズ走査電子顕微鏡
二次電子像分解能（高加速電圧30kV）0.4nm（低加速電圧1kV…
- 型式
- 日立 S-5500形
- 所在
- 理学研究科 / 青葉山キャンパス
