東北大学研究基盤利用ポータル

[1112]KLA Tencor 段差計 #2

型式

KLA Tencor　P-16OF+

所在

マイクロシステム融合研究開発センター / その他

[1113]日立FE-SEM

型式

日立ハイテク　SU8600

所在

マイクロシステム融合研究開発センター / その他

[1120]オメガフィルター透過電子顕微鏡

型式

日本電子株式会社　JEM-2010FEF

所在

多元物質科学研究所 / 片平キャンパス

[1190]電界放射型電子顕微鏡（SU6600・多元）

型式

①日立ハイテクノロジーズ社製 ②ｵｯｸｽﾌｫｰﾄﾞ・ｲﾝｽﾄｩﾙﾒﾝﾂ社製　①低真空分析走査電子顕微鏡（SU6600） ②EDX・EBSD分析装置搭載

所在

多元物質科学研究所 / 片平キャンパス

[1192]電子プローブマイクロアナライザ（EPMA）

型式

日本電子㈱社製　JXA-8200

所在

多元物質科学研究所 / 片平キャンパス

[1193]大型ステージ走査型プローブ顕微鏡

型式

日立ハイテクフィールディング　SII、L-traceⅡ

所在

多元物質科学研究所 / 片平キャンパス

[1206]FIB

型式

SII　SMI9200

所在

マイクロシステム融合研究開発センター / その他

[1209_1]【ARIM】集束イオンビーム加工装置(技術代行適応料金)

型式

Thermo Fisher Scientific　Quanta 3D及びVersa 3D

所在

金属材料研究所 / 片平キャンパス

[1209_2]【分析コア】集束イオンビーム加工装置(技術代行適応料金)

型式

Thermo Fisher Scientific　Quanta 3D及びVersa 3D

所在

金属材料研究所 / 片平キャンパス

[1213]プローブコレクター透過電顕

型式

FEI　Titan G2-cubed

所在

研究推進・支援機構（先端電子顕微鏡センター） / 片平キャンパス

[130]透過型電子顕微鏡(FE-TEM)

型式

日本電子　JEM-2100F

所在

工学研究科（本部） / 青葉山キャンパス

[161]FE-SEM

型式

日本電子　JSM-6700F

所在

未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス