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その他 一覧
検索結果144件
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[344]マイクロX線CT
X線を用いた非破壊内部観察
- 型式
- コムスキャンテクノ ScanXmate D160TS110
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[345]熱電子SEM
EDX付、低真空モード付、光学画像ナビゲーション付
- 型式
- 日立ハイテク S3700N
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[346]超音波顕微鏡
デバイス内部の非破壊検査、ウェハ接合面の欠陥、ボイド評価等
- 型式
- インサイト IS-350
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[347]ブラシスクラバ
研磨後のウェハ洗浄
- 型式
- 全協化成 特注
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[348]デジタル顕微鏡
パターン観察、デジタル画像保存、電動ステージ（PC制御可）、20～200倍、50…
- 型式
- キーエンス／クノーテクノクラフト -
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[359]酸素加圧RTA付高温スパッタ装置
金属用(DC)スパッタチャンバ、酸化物用(RF)スパッタチャンバ、酸素加圧アニー…
- 型式
- ユーテック 21-0604
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[360]両面マスクアライナ
コンタクト露光、片面・両面アライメント、接合時のアライメント
- 型式
- SUSS MA6/BA6
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[361]多元材料原子層堆積（ALD）装置
アルミナ等のALDが可能。6インチウェハまでの導入が可能。アルミナ以外は、要原料…
- 型式
- テクノファイン ALK-600
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[362]ME-RIE装置〔リンク〕
磁気エンハンスト型RIE装置
- 型式
- 立山マシン TEP-01C1
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[363]Vapor HFエッチング装置
気相フッ酸による主にSiO2犠牲層エッチング
- 型式
- 住友精密工業 Primaxx uEtch
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[364]芝浦スパッタ装置（冷却形）
基板ステージφ200mm、3インチターゲット×3、基板水冷形、リフトオフプロセス…
- 型式
- 芝浦メカトロニクス CFS-4ESII
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[420]エッチングチャンバー
酸洗浄、ウェットエッチング（SiSiO2金属など）
- 型式
- アズワン PSH1200
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
