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その他 一覧
検索結果144件
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[1205]マイクロマニピュレータ
- 型式
- マイクロサポート
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[1206]FIB
- 型式
- SII SMI9200
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[1207]試作コインランドリ 施設使用料・技術支援料
- 型式
- ー
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[1208]試作コインランドリ 主要消耗品
- 型式
- ー
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[248]住友 PECVD
SiN、SiO2、最高温度：350℃、低応力SiN成膜
- 型式
- 住友精密工業 MPX-CVD
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[250]熱CVD
Epipoly-Si(non-dopeddoped)、Poly-Si(non-…
- 型式
- 国際電気 -
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[251]XRD
X線回折測定、1000℃までの高温環境での測定可能
- 型式
- ブルカー・エイエックスエス D8 DISCOVER
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[252]DeepRIE装置#1
Siの深堀エッチング、メカニカルチャック
- 型式
- 住友精密工業 MUC-21 ASE-SRE
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[278]芝浦 スパッタ装置
基板ステージφ200mm、3インチターゲット×3、基板加熱形（最高300℃）
- 型式
- 芝浦メカトロニクス CFS-4ESII
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[341]MOCVD装置
PZT成膜等
- 型式
- ワコム研究所 Doctor-T'
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[342]エリオニクス 130kV EB描画装置
最大加速電圧：130keV、最小描画パターン：10nm以下
- 型式
- エリオニクス ELS-G125S
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[343]サーフェイスプレナー
Au、Cuバンプの平坦化
- 型式
- ディスコ DAS8920
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
