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その他 一覧
検索結果129件
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[347]ブラシスクラバ〔リンク〕
研磨後のウェハ洗浄
- 型式
- 全協化成工業
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[348]デジタル顕微鏡〔リンク〕
パターン観察、デジタル画像保存、電動ステージ（PC制御可）、20～200倍、50…
- 型式
- KEYENCE VHX-1000
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[359]酸素加圧RTA付高温スパッタ装置〔リンク〕
金属用(DC)スパッタチャンバ、酸化物用(RF)スパッタチャンバ、酸素加圧アニー…
- 型式
- ユーテック 21-0604
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[360]両面マスクアライナ〔リンク〕
コンタクト露光、片面・両面アライメント、接合時のアライメント
- 型式
- SUSS Micro Tec SUSS MA6/BA6 SPEC TOU-2
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[361]多元材料原子層堆積（ALD）装置〔リンク〕
アルミナ等のALDが可能。6インチウェハまでの導⼊が可能。アルミナ以外は、要原料…
- 型式
- テクノファイン ALK-600
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[362]ME-RIE装置〔リンク〕
磁気エンハンスト型RIE装置
- 型式
- 立山マシン TEP-01C1
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[363]Vapor HFエッチング装置〔リンク〕
気相フッ酸による主にSiO2犠牲層エッチング
- 型式
- Primaxx uEtch Module TO-α
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[364]芝浦スパッタ装置（冷却形）〔リンク〕
基板ステージφ200mm、3インチターゲット×3、基板冷却型
- 型式
- 芝浦メカトロニクス CFS-4ES-C.T.
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[420]エッチングチャンバー〔リンク〕
酸洗浄、ウェットエッチング（Si,SiO2など）
- 型式
- アズワン PSH1200
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[421]リン酸槽〔リンク〕
SiNウェットエッチング
- 型式
- ー
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[422]イナートオーブン（シンター炉）〔リンク〕
N2雰囲気中での熱処理、Alシンタリングなど
- 型式
- ヤマト科学 DN63H
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[423]真空オーブン〔リンク〕
真空中での熱処理
- 型式
- ヤマト科学 DP-31
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
