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加工・処理 一覧
検索結果232件
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[708]パークシステムズAFM〔リンク〕
- 型式
- パークシステムズ NX20
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[720]水素アニール装置〔リンク〕
赤外線ランプ加熱、温度:最高1100℃、水素雰囲気におけるSi表面の平滑化処理な…
- 型式
- 自作
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[721]EVG プラズマ活性化装置〔リンク〕
サンプルサイズ:小片~8インチ、直接接合前のプラズマ活性化処理
- 型式
- EVG EVG810
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[722]酸化炉(8″)〔リンク〕
サンプルサイズ:小片~8インチドライ酸化、ウェット酸化(バブリング)酸化温度…
- 型式
- 光洋サーモシステム MT-10×8-A
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[735]エリオニクス 50kV EB描画装置〔リンク〕
最大加速電圧:50keV
- 型式
- エリオニクス ELS-7500EXTK
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[736]Zygo Nexview〔リンク〕
表面形状の精密測定、高さ方向の分解能・精度は0.1nm以下最大150mm角の大…
- 型式
- Zygo Nexview
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[738]サブフェムト・インクジェット〔リンク〕
最小線幅:約5um金や銀などの微細なパターン形成
- 型式
- SIJテクノロジー PR-150THU
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[739]光造形3Dプリンター〔リンク〕
最小積層ピッチ:0.01mm、最大造形サイズ:90mmx90mmx90m…
- 型式
- DigitalWAX 028J-PLUS
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[759]原子層堆積装置〔リンク〕
- 型式
- Veeco Savannah S100
- 所在
- 工学研究科(機械・知能系) / 青葉山キャンパス
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[763]ワイヤ放電加工機
XYステージ付き,自動加工,プログラム制御可能,結晶方位を固定した加工も可能(ゴ…
- 型式
- ブラザー工業(和泉テック) HS300
- 所在
- 金属材料研究所 / 片平キャンパス
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[765]自動搬送 芝浦スパッタ装置 冷却型〔リンク〕
自動搬送機能付、ロードロックチャンバ付、基板冷却型、最大φ220mm、3インチタ…
- 型式
- 芝浦メカトロニクス CFS-4EP-LL
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[766]測長SEM〔リンク〕
レジストパターン等の自動測長、6、8インチ自動搬送、4インチ以下は手動搬送
- 型式
- 日立ハイテク CS4800
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他