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[766]測長SEM
微細構造の高精度自動測長6、8インチは自動搬送、4インチ以下は手動搬送計測再…
[772]電界放出形走査電子顕微鏡(SU8600)
冷陰極電界放出形電子銃、半導体型反射電子検出器(PD-BSED)搭載
[792]透過電子顕微鏡(TEM)