- /
- 設備・機器分類
設備・機器分類 一覧
検索結果736件
-
[498]4探針測定装置
ウェハ抵抗率などの測定
- 型式
- - -
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
-
[499]拡がり抵抗測定装置
不純物濃度プロファイルの測定、ウェハを小片にして端面を斜め研磨した後に測定
- 型式
- Solid State Measurement SSM150
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
-
[005]高磁場磁気共鳴画像撮像装置
- 型式
- フィリップス Achieva dSteam 3.0T
- 所在
- 加齢医学研究所 /
-
[501]金属顕微鏡
パターン観察
- 型式
- ニコン L150、L200
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
-
[502]断面SEM
小片専用、インレンズ式の高分解能FESEM
- 型式
- 日立ハイテク S5000
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
-
[503]エリプソ
薄膜の厚さ、屈折率測定
- 型式
- アルバック -
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
-
[504]赤外線顕微鏡
両面アライメントの確認、ウェハ接合面のボイド評価等
- 型式
- オリンパス/浜松ホトニクス -
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
-
[505]四重極質量分析装置〔リンク〕
プロセス中の残留ガスのモニタ等
- 型式
- キヤノンアネルバ M-101QA-TDM
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
-
[507]クイックコータ
SEM観察試料のPtコーティング
- 型式
- サンユー電子 SC-701MkII
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
-
[508]卓上型エリプソ
高速サンプリング可能なエリプソ
- 型式
- フォトニックラティス SE-101
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
-
[510]レーザ／白色光共焦点顕微鏡
3次元表面形状測定、DeepRIEのエッチ深さ測定、レーザ光／白色の切替可能、共…
- 型式
- レーザーテック OPTELICS HYBRID LS-SD
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
-
[511]直線集束ビーム超音波材料解析システム#1
固体試料の漏洩弾性表面波(LSAW)速度測定
- 型式
- オリジナル -
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
