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設備・機器分類 一覧
検索結果736件
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[356]災害解析用計算機システム 一式
・本設備は大規模かつ高解像度な津波などの災害リスク評価を実行可能とし、実効性能を…
- 型式
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- 所在
- 災害科学国際研究所 / 青葉山キャンパス
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[359]酸素加圧RTA付高温スパッタ装置
金属用(DC)スパッタチャンバ、酸化物用(RF)スパッタチャンバ、酸素加圧アニー…
- 型式
- ユーテック 21-0604
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[360]両面アライナ＃1
コンタクト露光、片面・両面アライメント、接合時のアライメント
- 型式
- SUSS MA6/BA6
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[361]多元材料原子層堆積（ALD）装置
アルミナ等のALDが可能。6インチウェハまでの導入が可能。アルミナ以外は、要原料…
- 型式
- テクノファイン ALK-600
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[362]ME-RIE装置〔リンク〕
磁気エンハンスト型RIE装置
- 型式
- 立山マシン TEP-01C1
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[363]Vapor HFエッチング装置
気相フッ酸による主にSiO2犠牲層エッチング
- 型式
- 住友精密工業 Primaxx uEtch
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[364]芝浦スパッタ装置（冷却形）
基板ステージφ200mm、3インチターゲット×3、基板水冷形、リフトオフプロセス…
- 型式
- 芝浦メカトロニクス CFS-4ESII
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[366]薄膜表面評価用インプレーンX線回折装置
下記のトライボロジー融合研究拠点のページを参照してください。http://tr…
- 型式
- リガク SmartLab 90TF
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 片平キャンパス
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[368]マクロトライボロジー試験機
仕様〇縦方向駆動部移動距離：150ｍｍ、分解能：0.5μｍ、移動速度：0.0…
- 型式
- BrukerAX UMT3-HTRD
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 片平キャンパス
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[369]顕微赤外分光装置
装置の特徴1.赤外分光光度計は、50000対1の高SN比をもち、また、長ストロ…
- 型式
- 日本分光 フーリエ変換赤外分光光度計(FT/IR-6300), 赤外顕微鏡(IRT-5000)
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
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[370]マイクロビッカース硬度計
特徴・CCDカメラ内蔵の自動測長機能により、試料表面上の圧痕を自動的に読取る性…
- 型式
- 島津製作所 HMV-21DT
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 片平キャンパス
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[371]表面粗さ測定機
特徴・X軸の分解能は50nm、Z1軸（検出器）の分解能は8μmﾚﾝｼﾞの場合で…
- 型式
- ミツトヨ SV-3100S4
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 片平キャンパス
