微細加工・デバイス作製・評価 一覧
検索結果71件
-
[539]ウエハ接合装置
6インチウエハまでの陽極接合,金属接合が可能
- 型式
- SUSS Micro Tec SB-6e
- 所在
- 工学研究科(機械・知能系) / 青葉山キャンパス
-
[563]プラズマアッシャー(PR500)
高周波出力:500W,反応ガス:O2
- 型式
- ヤマト科学 PR500
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
-
[564]UVオゾンクリーナー(UV-1)
用途:試料表面のクリーニングやアッシング
- 型式
- サムコ UV-1
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
-
[565]プラズマアッシャー(V-1000TS)
用途:試料表面のクリーニングやアッシング性能:プラズマモードDP/RIE、ガス…
- 型式
- ヤマト科学 V1000-TS
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
-
[566]マスクアライナー(MJB-4)
基板サイズ5mm角から最大3インチ角、マスクサイズ:2インチ角から4インチ角、…
- 型式
- SUSS MJB-4
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
-
[567]金属顕微鏡(MX50)
用途:フォトリソグラフィプロセス全般(レジスト塗布、ベーキング、現像、パターン確…
- 型式
- オリンパス MX50A/T
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
-
[569]SEM前処理用スパッタ(SC-701AT)
用途:フォトリソグラフィプロセス全般(レジスト塗布、ベーキング、現像、パターン確…
- 型式
- サンユー電子 SC-701AT
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
-
[570]スピンコーター(EB用 1H-360S)
用途:フォトリソグラフィプロセス全般(レジスト塗布、ベーキング、現像、パターン確…
- 型式
- ミカサ 1H-360S
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
-
[571]スピンコーター(U4 MS-A150)
用途:フォトリソグラフィプロセス全般(レジスト塗布、ベーキング、現像、パターン確…
- 型式
- ミカサ MS-A150
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
-
[572]スピンコーター(U13 MS-A150)
用途:フォトリソグラフィプロセス全般(レジスト塗布、ベーキング、現像、パターン確…
- 型式
- ミカサ MS-A150
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
-
[573]スピンコーター(MS-A200)
用途:フォトリソグラフィプロセス全般(レジスト塗布、ベーキング、現像、パターン確…
- 型式
- ミカサ MS-A200
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
-
[574]ホットプレート(EB用 PMC720)
用途:フォトリソグラフィプロセス全般(レジスト塗布、ベーキング、現像、パターン確…
- 型式
- PMC720
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス