[1047]プラズマ集束イオンビーム加工装置(Amber-X)〔リンク〕

ID
1047
設備・機器分類
観察 | FIB
利用区分
メーカー
東陽テクニカ
型式
TESCAN Amber-X
仕様・特徴
・SEM: 加速電圧 0.5 kV~30 kV 高輝度ショットキー電子銃
・FIB: 加速電圧 1 kV~30 kV Xeイオン銃、1pA-3μA
・保護膜形成 Pt蒸着・C蒸着
・ロッキングステージ、姿勢制御マニピュレータ(OptiLift)
・シリアルセクショニング
・分析機能:EDS、SIMS
用途・使用目的
キャンパス
片平キャンパス
部局
金属材料研究所
管理部署
経理課 司計係
設備担当者
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備考
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