- ID
- 1047
- 設備・機器分類
- 観察 | FIB
- 利用区分
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- メーカー
- 東陽テクニカ
- 型式
- TESCAN Amber-X
- 仕様・特徴
- ・SEM: 加速電圧 0.5 kV~30 kV 高輝度ショットキー電子銃
・FIB: 加速電圧 1 kV~30 kV Xeイオン銃、1pA-3μA
・保護膜形成 Pt蒸着・C蒸着
・ロッキングステージ、姿勢制御マニピュレータ(OptiLift)
・シリアルセクショニング
・分析機能:EDS、SIMS - 用途・使用目的
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- キャンパス
- 片平キャンパス
- 部局
- 金属材料研究所
- 管理部署
- 経理課 司計係
- 設備担当者
- 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
- 予約サイトのURL
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- 【閲覧用】設備予約カレンダー
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- 備考
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