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機関・部局 一覧
検索結果738件
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[495]Dektak 段差計
触針式の表面形状測定
- 型式
- Dektak Dektak 8
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[496]Tenchor 段差計
触針式の表面形状測定
- 型式
- Tencor AlphaStep
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[497]深さ測定装置
光学式の非接触深さ測定装置
- 型式
- ユニオン光学 Hisomet
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[498]4探針測定装置
ウェハ抵抗率などの測定
- 型式
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- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[499]拡がり抵抗測定装置
不純物濃度プロファイルの測定、ウェハを小片にして端面を斜め研磨した後に測定
- 型式
- Solid State Measurement SSM150
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[005]高磁場磁気共鳴画像撮像装置
- 型式
- フィリップス Achieva dSteam 3.0T
- 所在
- 加齢医学研究所 /
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[500]ウェハプローバ〔リンク〕
デバイスの電気特性測定
- 型式
- 東京精密 EM-20A
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[501]金属顕微鏡
パターン観察
- 型式
- ニコン L150、L200
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[502]断面SEM
小片専用、インレンズ式の高分解能FESEM
- 型式
- 日立ハイテク S5000
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[503]エリプソ
薄膜の厚さ、屈折率測定
- 型式
- アルバック -
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[504]赤外線顕微鏡
両面アライメントの確認、ウェハ接合面のボイド評価等
- 型式
- オリンパス/浜松ホトニクス -
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[505]四重極質量分析装置〔リンク〕
プロセス中の残留ガスのモニタ等
- 型式
- キヤノンアネルバ M-101QA-TDM
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
