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[322]LECO社製 炭素硫黄分析装置 CS844MC型
・金属、鉱石、セラミックス等、無機物全般の炭素及び硫黄を燃焼法によって測定。・…
- 型式
- LECO CS844MC
- 所在
- 東北アジア研究センター / 川内キャンパス
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[333]レーザー加熱式熱衝撃疲労試験機〔リンク〕
- 型式
- ミヤチテクノス(現アマダミヤチ） 試験装置一式
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
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[334]ダイナミック微小硬度計〔リンク〕
- 型式
- 島津製作所 DUH-211S
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
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[336]MSEP-PVクラスタ
・小片～33㎜φウェハまで対応。・PE-CVD-SiO膜、SiN膜の成膜。
- 型式
- 大亜真空
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
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[337]超高分解能収差補正型走査透過電子顕微鏡システム〔リンク〕
- 型式
- FEI Titan G2 60-300型
- 所在
- 研究推進・支援機構（先端電子顕微鏡センター） / 片平キャンパス
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[338]ベクトルマグネット回転システム〔リンク〕
- 型式
- Cryomagnetics VSC-3070-BL
- 所在
- 研究推進・支援機構（極低温科学センター） / 片平キャンパス
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[341]MOCVD装置〔リンク〕
PZT成膜等
- 型式
- ワコム研究所 Doctor-T
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[342]エリオニクス 130kV EB描画装置〔リンク〕
最大加速電圧：130keV、最小描画パターン：10nm以下
- 型式
- エリオニクス ELS-G125S
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[343]サーフェイスプレナー〔リンク〕
Au、Cuバンプの平坦化
- 型式
- ディスコ DAS8920
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[344]マイクロX線CT〔リンク〕
- 型式
- コムスキャンテクノ ScanXmate-D160TS110
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[345]熱電子SEM〔リンク〕
EDX付、低真空モード付、光学画像ナビゲーション付
- 型式
- 日立ハイテクノロジーズ / 堀場製作所 S-3700N型 / EMAX Energy
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[346]超音波顕微鏡〔リンク〕
デバイス内部の非破壊検査、ウェハ接合面の欠陥、ボイド評価等
- 型式
- インサイト IS-350型 S-U
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
