[250]熱CVD

ID
250
設備・機器分類
ー
利用区分
学内:〇, 学外:〇
メーカー
国際電気 -
型式
ー
仕様・特徴
Epipoly-Si(non-doped doped)、Poly-Si(non-doped doped)、最高温度:1100℃
用途・使用目的
ー
キャンパス
その他
部局
マイクロシステム融合研究開発センター
管理部署
試作コインランドリ
設備担当者
利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
予約サイトのURL
https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/418?utm_source=portal&utm_medium=link
【閲覧用】設備予約カレンダー
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備考
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