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その他 一覧
検索結果144件
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[1040]分光エリプソ
測定波長域：210～1690nm、入射角可変範囲：45～90度、ビーム径：通常…
- 型式
- ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社 RC2-UI-TTk
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[1108]BEAMER Full Package
近接補正用ソフト(BEAMER)
- 型式
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- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[1109]KrFステッパ
小片～8インチ、最小線幅0.15μm以下、重ね合せ精度20nm、透明基板対応…
- 型式
- キヤノン FPA-3030EX6
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[1110]マスクレスアライナ#2
波長：405nm375nm、最小描画線幅：1µm、マスク作製（Cr、エマルジョ…
- 型式
- Heidelberg Instruments MLA150
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[1111]NLDエッチング装置
磁気中性子線による低真空プラズマエッチング：SiCや石英などの難エッチング材料向…
- 型式
- アルバック NLD-5700
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[1112]KLA Tencor 段差計
触針式の表面形状測定
- 型式
- KLA Tencor P-16OF+
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[1113]日立FE-SEM
EDX付、低真空モード付、光学画像ナビゲーション付
- 型式
- 日立ハイテク SU8600
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[1200]アクテス スピンコータ#2
- 型式
- アクテス ASC-4000W
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[1201]ホットプレート
- 型式
- Shamal HHP-230SQ
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[1202]両面アライナ #2
- 型式
- SUSS MA6/BA6
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[1203]スピン乾燥機
- 型式
- 東邦化成 ZAA-5
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[1204]セミオートワイヤボンダ
- 型式
- TPT HB16 セミオート
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
