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機関・部局 一覧
検索結果680件
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[347]ブラシスクラバ〔リンク〕
研磨後のウェハ洗浄
- 型式
- 全協化成工業
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[348]デジタル顕微鏡〔リンク〕
パターン観察、デジタル画像保存、電動ステージ（PC制御可）、20～200倍、50…
- 型式
- KEYENCE VHX-1000
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[349]TissueFAXS細胞解析装置（i4顕微鏡）
倒立顕微鏡タイプスキャンステージ：4スライド/プレートタイプ対物レンズ（2…
- 型式
- Tissue Gnostics TG-9101-T
- 所在
- 病院 / 星陵キャンパス
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[352]TissueFAXS細胞解析装置（解析ソフトウェア）
HistQuest組織化学染色画像解析ソフトウェア（組織化学染色対応）、Tiss…
- 型式
- Tissue Gnostics TG-2-200/202
- 所在
- 病院 / 星陵キャンパス
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[356]災害解析用計算機システム 一式
・本設備は大規模かつ高解像度な津波などの災害リスク評価を実行可能とし、実効性能を…
- 型式
- ー
- 所在
- 災害科学国際研究所 / 青葉山キャンパス
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[359]酸素加圧RTA付高温スパッタ装置〔リンク〕
金属用(DC)スパッタチャンバ、酸化物用(RF)スパッタチャンバ、酸素加圧アニー…
- 型式
- ユーテック 21-0604
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[360]両面マスクアライナ〔リンク〕
コンタクト露光、片面・両面アライメント、接合時のアライメント
- 型式
- SUSS Micro Tec SUSS MA6/BA6 SPEC TOU-2
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[361]多元材料原子層堆積（ALD）装置〔リンク〕
アルミナ等のALDが可能。6インチウェハまでの導⼊が可能。アルミナ以外は、要原料…
- 型式
- テクノファイン ALK-600
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[362]ME-RIE装置〔リンク〕
磁気エンハンスト型RIE装置
- 型式
- 立山マシン TEP-01C1
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[363]Vapor HFエッチング装置〔リンク〕
気相フッ酸による主にSiO2犠牲層エッチング
- 型式
- Primaxx uEtch Module TO-α
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[364]芝浦スパッタ装置（冷却形）〔リンク〕
基板ステージφ200mm、3インチターゲット×3、基板冷却型
- 型式
- 芝浦メカトロニクス CFS-4ES-C.T.
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[366]薄膜表面評価用インプレーンX線回折装置
下記のトライボロジー融合研究拠点のページを参照してください。http://tr…
- 型式
- リガク SmartLab 90TF
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 片平キャンパス
