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36_マイクロシステム融合研究開発センター 一覧
検索結果144件
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[421]リン酸槽
SiNウェットエッチング
- 型式
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- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[422]シンター用オーブン
N2雰囲気中での熱処理、Alシンタリングなど
- 型式
- ヤマト科学 DR22
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[423]真空オーブン
真空中での熱処理
- 型式
- ヤマト科学 DP-31
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[424]スピン乾燥機
平置き式でウェハやフォトマスクの乾燥
- 型式
- 東邦化成 ZAA-4
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[425]有機ドラフトチャンバー
有機洗浄、レジスト剥離
- 型式
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- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[426]4″”スピン乾燥機
カセット式で1度に25枚まで処理可能
- 型式
- SEMITOOL PSC101
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[427]6″”スピン乾燥機
カセット式で1度に25枚まで処理可能
- 型式
- SEMITOOL PSC101
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[429]ミカサ スピンコーター
レジスト等のスピンコーティング
- 型式
- ミカサ 1H-DXII
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[430]クリーンオーブン
ウェハのベーク
- 型式
- ヤマト科学 DE62
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[431]ポリイミドキュア炉
N2雰囲気中でのポリイミドのキュア
- 型式
- ヤマト科学 DN43H
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[434]現像ドラフト
レジスト現像用のドラフトチャンバー
- 型式
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- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[435]UVキュア装置
レジストのキュア、カセットtoカセット
- 型式
- ウシオ電機 UMA-802
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
