- ID
- 070
- 設備・機器分類
- 観察 ｜ FIB
- 利用区分
- 学内：〇, 学外：〇
- メーカー
- FEI Electron Optics
- 型式
- Helios600i
- 仕様・特徴
- ・ FIB加工過程をSEMにてリアルタイムで観察可能。
・ TEM試料作製及びアトムプローブ試料作製が可能。
・ 自動機能にて、FIBスライス加工。
・ 同一視野での、SEM画像取得（EBSD,EDS測定含む）を繰り返す機能。
・ FIB： Gaイオン、加速電圧：500V～30ｋV、 イオン電流最大：65ｎA、 分解能：2.5nm, デポジションガス：W,Pt
・ SEM： 加速電圧：50V～30kV、最大ビーム電流：100ｎA、 分解能：0.9nm（15ｋＶ）、1.4nm(1kV)
・ 2次電子検出、反射電子検出、環状STEM検出器、像分解能：1.2nm
・ EDSおよびEBSD元素の３次元マッピングデータによるスライス可視化機能
【3D 画像解析ソフトウェア Amira について】
・[070]微細加工システム FIB/SEMデュアルビームシステムで取得したデータを、本解析ソフトを使用する事により、コンピュータトモグラフィや顕微鏡の結果、MRIなどの3Dデータを、可視化、加工、評価ができる。 - 用途・使用目的
- TEMサンプル作製、サブミクロン実験用試料作製、断面観察、3D解析用イメージ取得
- キャンパス
- 片平キャンパス
- 部局
- 産学連携先端材料研究開発センター
- 管理部署
- ー
- 設備担当者
- 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
- 予約サイトのURL
- https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/42
- 学外利用料金
※更新の都合で実際の料金とは異なる場合がございます。 - 本人利用： 22,162円 / 時間
微細加工装置用試料低温装置： 147円 / 時間
Cuメッシュ： 534円 / 1枚
Moメッシュ： 2,887円 / 1枚
ピンタイプ(小)： 107円 / 1個
ピンタイプ(大)： 1,924円 / 1個
試料台チューブ： 267円 / 1個
ピンスタブケース（大）： 2,245円 / 1個
サンプルゲルケース： 962円 / 1個
カーボンコート： 534円 / 1回
窒素ガス： 1,374円 / 1本
液体窒素代： 1,106円 / 1回15ℓ
Dry Pump運転： 5円 / 1回
ドライカラム： 951円 / 1回
３D画像解析ソフト（Amira）ライセンス・PC管理費用： 120円 / 時間 - 学内利用料金
- 上記予約サイトのURLより設備統合管理システムにログインの上、ご確認ください。
- 備考
- 使用する消耗品（試薬等）は、別途実費分を負担していただきます。
