よくあるご質問
気相HFエッチング装置uEtchの導入を検討しており、一点相談させて頂きたいことがあり連絡いたしました。 問い合わせ内容は、本体背面の排気ダクトからの流量についてです。 現状ベンダー（KLA）とも相談しており、彼らによると600 cfm( 約1000 cmh相当)が必要とのことです。しかし、この流量はドラフトチャンバーを 全開にして排気したときの流量に相当する大変大きな値であり、本学の設備でこの流量を常時確保するのも難しいため本当にこの排気量が常時必要か納得できていない状況です。 そこで実際に導入している貴学においてどのように運用されているか伺わせて頂けたらと思います。 ・本装置背面の排気ダクト（Φ127mm×２）の排気流量はどれくらいでしょうか。 ・通常時と緊急時（HFやアルコールのリーク時など）で流量を切り替えるなど何か運用で工夫されていることなどあれば教えてください。
Vapor HF etching装置にて風量測定をした事は御座いません。
目安として、本装置と同一ラインに１台当たり全開時約1m×1mの開口の、
「酸ドラフト」が５台が繋がっています。
各ドラフトで塩酸や酢酸など臭いが強い試薬を使用しても、
逆拡散などにより筐体排気から臭ってくる事は御座いません。
感覚的ではございますが、600 cfm という値に達しているかは
不明では御座いますが、それなりの風量で排気もしくは差圧で、
押し出していると想定されます。
装置には排気ダクトを通常時と緊急時との排気切り替えシステムは御座いません。
個人的な考えとなりますが、「絶対漏れない」という状況は、
材料となるHFやアルコールを撤収しない限りはあり得ないと考えますので、
もし切り替えが本装置であったとするならば、常時「緊急時」の状態で
運用すると思います。HFの被害は甚大な事に繋がると考える為です。
