- ID
- 1104
- 設備・機器分類
- 観察 ｜ 電子顕微鏡・EPMA
- 利用区分
- 学内：〇, 学外：〇
- メーカー
- ⽇⽴ハイテクノロジーズ製 S-4800
- 型式
- ー
- 仕様・特徴
- 二次電子分解能：
1.0nm （加速電圧15kV、WD=4mm）
1.4nm （照射電圧1kV、WD=1.5mm、リターディングモード）
2.0nm （加速電圧1kV、WD=1.5mm、標準モード）
倍率：
LMモード ×20～2,000
HMモード ×100～800,000
（WD,HVによって倍率範囲が異なる）
電子銃：冷陰極電解放出型電子銃
プローブ電流：1pA～2nA
加速電圧：0.5～30kV（標準モード）
照射電圧：0.1～2.0kV（リターディングモード）
検出器： 二次電子検出器（Upper/Lower）、反射電子検出器、エネルギー分散型X線検出器
試料サイズ：最大100mm径 - 用途・使用目的
- 金属材料、セラミックス、カーボン材料、電子デバイス、半導体、高分子、生体組織（要乾燥処理）など、あらゆる固体試料の表面形状観察が可能です。
低加速電圧条件でも1.4 nmの高い分解能で観察でき（リターディング使用時）、ダメージを受けやすい試料や、試料極表面の微細構造も鮮明に観察できます。
非導電性試料については、PtまたはCでのコーティングを行えます（別途、[1105]マグネトロンスパッタ装置・カーボンコーターへ利用申請が必要です）
磁性体の観察は不可。 - キャンパス
- 片平キャンパス
- 部局
- 多元物質科学研究所
- 管理部署
- ー
- 設備担当者
- 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
- 予約サイトのURL
- https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/969?utm_source=portal&utm_medium=link
- 学外利用料金
※更新の都合で実際の料金とは異なる場合がございます。 - 本人利用： 2,259円 / 時間
- 学内利用料金
- 上記予約サイトのURLより設備統合管理システムにログインの上、ご確認ください。
- 【閲覧用】設備予約カレンダー
- カレンダーは公開されていません。
- 備考
- ー
