- ID
- 161
- 設備・機器分類
- 観察 ｜ 電子顕微鏡・EPMA
- 利用区分
- 学内：〇, 学外：〇
- メーカー
- 日本電子
- 型式
- JSM-6700F
- 仕様・特徴
- 低加速電圧でも高分解能・強励磁コニカルレンズFE SEM
半導体をはじめとする超微細加工、超微粒子、および医学生物分野での高倍率観察に適した新開発のレンズを搭載した高性能装置です。
ユーザーによる電子銃・レンズ系の軸合わせを不要にする新システムにより、高性能を安定して得ることができます。
分解能 1.0 nm
加速電圧 0.5～30kV
倍率 ×25～650,000
試料寸法 150mmφ
試料移動 X方向：70mm Y方向：50mm
（モータ駆動/手動可能）
Z方向：1.5～25mm、傾斜：－5゜～60°
回転：360°エンドレス（モータ駆動） - 用途・使用目的
- ー
- キャンパス
- 青葉山キャンパス
- 部局
- 未来科学技術共同研究センター
- 管理部署
- ー
- 設備担当者
- 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
- 予約サイトのURL
- https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/94
- 備考
- 【設備利用】
利用に際し、事前にご相談ください。
【委託利用】
委託をご希望される方は相談窓口までご相談ください（詳細内容や希望納期等についてお伺いします）。
