[099]多種試料観察用走査電子顕微鏡システム

ID
099
設備・機器分類
観察 | 電子顕微鏡・EPMA
利用区分
学内:〇, 学外:〇
メーカー
日本電子
型式
JSM-7800F
仕様・特徴
・ インレンズショットキーPlus電子銃と超高分解能ジェントルビームの採用で低加速電圧の分析向上が図られた。
・ スーパーハイブリッドレンズの採用で、超高分解能観察と磁性材料観察、EBSD解析に最適なビームを照射できる。
・ 4種類の電子検出器とエネルギーフィルタを用いて各種の電子像を分離して検出できる。
・ 低真空モードで非導電性試料の観察を実現。
・ 大気非暴露冷却イオン断面装置との連携するトランスファーベッセルを実装。
・ 分解能: 0.8nm(15kV)
・ 加速電圧: 0.01kV~30kV
・ 試料照射電流: PA~500nA
・ 倍率: ×10~×1,000,000
・ 検出器: エネルギー分散型X線分析装置、結晶方位解析装置、反射電子検出器、上方二次電子検出器
・ 低真空モード: 10~300Pa
用途・使用目的
・表面形状のイメージング(例:絶縁性サンプルの無蒸着かつ高分解能観察、低加速電圧観察でのサンプル最表面観察)
・元素分布のイメージング
・結晶方位分布のイメージング
・大気非暴露下での観察(例:アルカリ金属、リチウムイオン電池、吸湿性を有する高反応性サンプルの観察)
キャンパス
片平キャンパス
部局
産学連携先端材料研究開発センター
管理部署
設備担当者
利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
予約サイトのURL
https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/53
学外利用料金

※更新の都合で実際の料金とは異なる場合がございます。
本人利用: 7,710円 / 時間
JSM-JEE-420TまたはCADE-E装置によるカーボン蒸着: 534円 / 1回
学内利用料金
上記予約サイトのURLより設備統合管理システムにログインの上、ご確認ください。
備考
使用する消耗品(試薬等)は、別途実費分を負担していただきます。
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