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機関・部局 一覧
検索結果701件
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[424]スピン乾燥機〔リンク〕
平置き式でウェハやフォトマスクの乾燥
- 型式
- 東邦化成 ZAA-4
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[425]有機ドラフトチャンバー〔リンク〕
有機洗浄、レジスト剥離
- 型式
- ー
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[426]4″スピン乾燥機〔リンク〕
カセット式で1度に25枚まで処理可能
- 型式
- SEMITOOL PSC101
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[427]6″スピン乾燥機〔リンク〕
カセット式で1度に25枚まで処理可能
- 型式
- SEMITOOL PSC101
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[429]スピンコータ〔リンク〕
レジスト等のスピンコーティング
- 型式
- ミカサ 1H-DXII
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[430]クリーンオーブン〔リンク〕
ウェハのベーク
- 型式
- ヤマト科学 DE62
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[431]ポリイミドキュア炉〔リンク〕
N2雰囲気中でのポリイミドのキュア
- 型式
- ヤマト科学 DN43H
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[434]現像ドラフト〔リンク〕
レジスト現像用のドラフトチャンバー
- 型式
- ー
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[435]UVキュア装置〔リンク〕
レジストのキュア、カセットtoカセット
- 型式
- ウシオ電機 UMA-802
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[436]スピンコータ〔リンク〕
レジスト等のスピンコーティング
- 型式
- アクテス ASC-4000
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[437]スプレー現像装置〔リンク〕
現像液とリンス（水）をノズルから噴霧
- 型式
- アクテス ADE-3000S
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[438]レーザ描画装置〔リンク〕
波長：405nm、最小描画線幅：0.7µm、マスク作製（Cr、エマルジョン）、直…
- 型式
- ハイデルベルグ・インストルメンツ DWL2000CE
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
