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36_マイクロシステム融合研究開発センター 一覧
検索結果135件
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[708]パークシステムズAFM〔リンク〕
- 型式
- パークシステムズ NX20
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[720]水素アニール装置〔リンク〕
赤外線ランプ加熱、温度：最高1100℃、水素雰囲気におけるSi表面の平滑化処理な…
- 型式
- 自作
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[721]EVG プラズマ活性化装置〔リンク〕
サンプルサイズ：小片～8インチ、直接接合前のプラズマ活性化処理
- 型式
- EVG EVG810
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[722]酸化炉(8″)〔リンク〕
サンプルサイズ：小片～8インチドライ酸化、ウェット酸化（バブリング）酸化温度…
- 型式
- 光洋サーモシステム MT-10×8-A
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[735]エリオニクス 50kV EB描画装置〔リンク〕
最大加速電圧：50keV
- 型式
- エリオニクス ELS-7500EXTK
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[736]Zygo Nexview〔リンク〕
表面形状の精密測定、高さ方向の分解能・精度は0.1nm以下最大150mm角の大…
- 型式
- Zygo Nexview
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[737]2光子励起顕微鏡〔リンク〕
マルチフォトン・共焦点レーザ顕微鏡システム、超解像オプション付、細胞の高精細蛍光…
- 型式
- ライカ TCS SP8 MP STED
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[738]サブフェムト・インクジェット〔リンク〕
最小線幅：約5um金や銀などの微細なパターン形成
- 型式
- SIJテクノロジー PR-150THU
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[739]光造形3Dプリンター〔リンク〕
最小積層ピッチ：0.01mm、最大造形サイズ：90mmx90mmx90m…
- 型式
- DigitalWAX 028J-PLUS
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[765]自動搬送 芝浦スパッタ装置 冷却型〔リンク〕
自動搬送機能付、ロードロックチャンバ付、基板冷却型、最大φ220mm、3インチタ…
- 型式
- 芝浦メカトロニクス CFS-4EP-LL
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[766]測長SEM〔リンク〕
レジストパターン等の自動測長、6、8インチ自動搬送、4インチ以下は手動搬送
- 型式
- 日立ハイテク CS4800
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[767]8インチマスクアライナ〔リンク〕
最大8インチ基板対応のコンタクトアライナ、両面アライメント対応
- 型式
- SUSS MicrotTec MA8 GEN3 TOU-01
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
