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36_マイクロシステム融合研究開発センター 一覧
検索結果144件
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[512]直線集束ビーム超音波材料解析システム#2〔リンク〕
固体試料のバルク波（縦波、横波）音速測定
- 型式
- ー
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[632]アルバックICP-RIE#2
SiO2メタルなどの多目的ドライエッチング、静電チャック、ガス：CF4、CHF3…
- 型式
- アルバック CE-300I
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[633]アネルバマルチスパッタ
1バッチ最大6枚搭載可能（回転機構付）、6インチターゲット×3（DC×2、RF×…
- 型式
- アネルバ SPC-350
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[635]マスクレスアライナ
波長：405nm375nm、最小描画線幅：1µm、マスク作製（Cr、エマルジョ…
- 型式
- Heidelberg Instruments MLA150
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[681]ECRロングスロースパッタ
小片～6インチ、ターゲット数2、ターゲット‐ステージ間距離150mm、コリメ…
- 型式
- エリオニクス EIS-200ERP-NPD-TK
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[682]住友 TEOS PECVD#2
TEOSSiO2、SiN、基板サイズ小片～8インチ、最高温度350℃、低応…
- 型式
- SPPテクノロジーズ APX-Cetus
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[683]i線ステッパ
小片～8インチ、最小線幅0.35μm以下、重ね合せ精度40nm、両面アライメ…
- 型式
- キヤノン FPA-3030i5+
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[684]コータデベロッパ
2～8インチ、HMDS処理、コート3ライン、現像2ライン、エッジリンス、バッ…
- 型式
- Suss ACS200Gen3
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[685]JEOL FE-SEM〔リンク〕
電界放出型SEM、基板サイズ小片～4インチ、EDX付
- 型式
- 日本電子 JSM-6335F
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[708]パークシステムズAFM
小片から8インチまで対応する原子間力顕微鏡
- 型式
- パーク・システムズ NX20
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[720]水素アニール炉
最高温度：1100℃、クリーンな環境下での赤外線ランプ加熱、Si専用
- 型式
- オリジナル -
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[721]EVG プラズマ活性化装置
直接接合前のプラズマ活性化処理標準ガス：N2
- 型式
- EVG 810
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
