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検索結果685件
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[248]住友 PECVD〔リンク〕
SiN、SiO2、最高温度：350℃、低応力SiN成膜
- 型式
- 住友精密 MPX-CVD
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[249]マスク露光システム装置〔リンク〕
- 型式
- SUSS MicroTec MA8 Gen3 Thu1
- 所在
- 工学研究科（機械・知能系） / 青葉山キャンパス
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[250]熱CVD〔リンク〕
Epipoly-Si(non-doped,doped)、Poly-Si(non…
- 型式
- 国際電気
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[251]XRD〔リンク〕
サンプルサイズ：小片～6インチ、X線回折測定、1000℃までの高温環境での測定可…
- 型式
- Bruker D8 DISCOVER
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[252]DeepRIE装置#1〔リンク〕
Siの深堀エッチング、メカニカルチャック
- 型式
- 住友精密 MUC-21
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[254]フーリエ変換赤外分光光度計〔リンク〕
- 型式
- 日本分光 FT/IR-6300ST
- 所在
- 工学研究科（本部） / 青葉山キャンパス
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[255]デジタル電動サーボプレス
サーボ制御によりストロークの精密な制御が可能。
- 型式
- アマダ SDE2025SF
- 所在
- 工学研究科（マテリアル・開発系） / 青葉山キャンパス
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[256]イオンビームミリング装置 エンドポイント分析器仕様〔リンク〕
- 型式
- 伯東 IBE-KDC75-TU-T-S
- 所在
- 工学研究科（マテリアル・開発系） / 青葉山キャンパス
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[257]TEOS PECVD システム 一式〔リンク〕
- 型式
- サムコ PD-100ST
- 所在
- 工学研究科（機械・知能系） / 青葉山キャンパス
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[259]SMI500ナノ加工顕微鏡システム 一式〔リンク〕
- 型式
- 日立ハイテクサイエンス(エスアイアイ･ナノテクノロジー) SMI500
- 所在
- 工学研究科（機械・知能系） / 青葉山キャンパス
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[263]多入射角高速分光エリプソメータ―〔リンク〕
- 型式
- J.A.Woollam M-2000D-Tm
- 所在
- 工学研究科（機械・知能系） / 青葉山キャンパス
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[264]高周波振動レーザー観察システム〔リンク〕
- 型式
- Polytec
- 所在
- 工学研究科（機械・知能系） / 青葉山キャンパス
