[1040]分光エリプソ

ID
1040
設備・機器分類
観察 | 物性評価
利用区分
学内:〇, 学外:〇
メーカー
ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社
型式
RC2-UI-TTk
仕様・特徴
測定波長域:210~1690 nm、入射角可変範囲:45~90度、ビーム径:通常3 mm
サンプルステージ:φ200 mm (自動マッピング、自動アライメント機構付)
測定データ:分光エリプソメトリーデータ(Ψ Δ)、ミューラー行列16成分、透過率、反射率、偏光解消度
解析ソフトウェア:CompleteEASE
用途・使用目的
ー
キャンパス
その他
部局
マイクロシステム融合研究開発センター
管理部署
試作コインランドリ
設備担当者
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予約サイトのURL
https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/905?utm_source=portal&utm_medium=link
【閲覧用】設備予約カレンダー
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備考
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チャットボット ハギボー