[1040]ウェハマッピング分光エリプソ〔リンク〕

ID
1040
設備・機器分類
観察 | 物性評価
利用区分
メーカー
(米)J.A.Woollam
型式
RC2-UI-TTk
仕様・特徴
薄膜の厚さ、屈折率測定
サンプルサイズ:小片~8インチ
測定波長域:210~1690 nm
入射角可変範囲:45~90度
ビーム径:通常3 mm
サンプルステージ:φ200 mm (自動マッピング、自動アライメント機構付)
測定データ:分光エリプソメトリーデータ(Ψ Δ)、ミューラー行列16成分、透過率、反射率、偏光解消度
解析ソフトウェア:CompleteEASE
用途・使用目的
キャンパス
その他
部局
マイクロシステム融合研究開発センター
管理部署
ナノテク融合技術支援センター
設備担当者
利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
予約サイトのURL
https://www.cints.tohoku.ac.jp/
【閲覧用】設備予約カレンダー
カレンダーは公開されていません。
備考
本学に別途設置されている「ナノテク融合技術支援センター」での手続きに沿って使用申込みをしていただくことになりますので、上記受付窓口リンクページをご確認ください。
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