[479]ウェハ接合装置〔リンク〕

ID
479
設備・機器分類
加工・処理 | 微細加工・デバイス作製・評価
利用区分
メーカー
Suss
型式
SB6e
仕様・特徴
陽極接合、金属接合、ポリマー接合
用途・使用目的
キャンパス
その他
部局
マイクロシステム融合研究開発センター
管理部署
ナノテク融合技術支援センター
設備担当者
利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
予約サイトのURL
https://www.cints.tohoku.ac.jp/
備考
本学に別途設置されている「ナノテク融合技術支援センター」での手続きに沿って使用申込みをしていただくことになりますので、上記受付窓口リンクページをご確認ください。
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