- ID
- 477
- 設備・機器分類
- ー
- 利用区分
- 学内：〇, 学外：〇
- メーカー
- 芝浦メカトロニクス
- 型式
- CDE7
- 仕様・特徴
- ラジカルによる低ダメージのSi、SiN等方性ドライエッチング、DRIE後のスキャロップ除去、ガス：CF4、O2、N2
- 用途・使用目的
- ー
- キャンパス
- その他
- 部局
- マイクロシステム融合研究開発センター
- 管理部署
- 試作コインランドリ
- 設備担当者
- 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
- 予約サイトのURL
- https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/520?utm_source=portal&utm_medium=link
- 【閲覧用】設備予約カレンダー
- カレンダーは公開されていません。
- 備考
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