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その他 一覧
検索結果135件
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[508]卓上型エリプソ〔リンク〕
高速サンプリング可能なエリプソ
- 型式
- フォトニックラティス SE-101
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[510]レーザ／白色光共焦点顕微鏡〔リンク〕
3次元表面形状測定、DeepRIEのエッチ深さ測定、レーザ光／白色の切替可能、共…
- 型式
- レーザーテック OPTELICS HYBRID LS-SD
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[511]直線集束ビーム超音波材料解析システム#1〔リンク〕
固体試料の漏洩弾性表面波(LSAW)速度測定
- 型式
- ー
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[512]直線集束ビーム超音波材料解析システム#2〔リンク〕
固体試料のバルク波（縦波、横波）音速測定
- 型式
- ー
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[632]アルバックICP-RIE#2〔リンク〕
SiO2、メタル、サファイアなどの多目的ドライエッチング、静電チャック、ガス：C…
- 型式
- アルバック CE-300I
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[633]アネルバマルチスパッタ〔リンク〕
1バッチ最大6枚搭載可能（回転機構付）、6インチターゲット×3（DC×2、RF×…
- 型式
- アネルバ SPC-350
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[635]マスクレスアライナ〔リンク〕
波長：405nm、最小描画線幅：1.0µm、高速直接描画、裏面アライメント可能、…
- 型式
- Heidelberg Instruments MLA150tt
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[681]ECRロングスロースパッタ〔リンク〕
基板サイズ小片～6インチ、ターゲット数2、ターゲット‐ステージ間距離150…
- 型式
- エリオニクス EIS-200ERP-NPD-TK
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[682]住友 TEOS PECVD#2〔リンク〕
TEOSSiO2、SiN、基板サイズ小片～8インチ、最高温度350℃、低応…
- 型式
- 住友精密 APX-Cetus
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[683]i線ステッパ〔リンク〕
基板サイズ小片～8インチ、最小線幅0.35μm以下、重ね合せ精度40nm、…
- 型式
- キヤノン FPA-3030i5+
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[684]コータデベロッパ〔リンク〕
基板サイズ2～8インチ、HMDS処理、コート3ライン、現像2ライン、エッジ…
- 型式
- SUSS ACS200 Gen3
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[685]JEOL FE-SEM〔リンク〕
電界放出型SEM、基板サイズ小片～4インチ、EDX付
- 型式
- 日本電子 JSM-6335F
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
