- ID
- 371
- 設備・機器分類
- 観察 ｜ 物性評価
- 利用区分
- 学内：〇, 学外：〇
- メーカー
- ミツトヨ
- 型式
- SV-3100S4
- 仕様・特徴
- 特徴
・X軸の分解能は50nm、Z1軸（検出器）の分解能は8μmﾚﾝｼﾞの場合では0.1nmであり高精度である。
また、X軸には高精度リニアスケール、Z2軸（コラム）にはABS（絶対原点）スケールを搭載しているので、上下、左右の動作を組み合わせた試料表面粗さの全自動測定が可能である。
仕様
測定範囲
X軸：100mm、Z1軸：800μm、80μm、8μm、Z2軸（コラム移動範囲）：300㎜
分解能
X軸 : 50nm Z1軸（検出部）：10nm（800μmﾚﾝｼﾞ）、1nm（80μmﾚﾝｼﾞ）、0.1nm（8μmﾚﾝｼﾞ）
Z2軸（コラム）：1μｍ
サンプル：高さ上限：300mm、重量上限：15kg - 用途・使用目的
- ー
- キャンパス
- 片平キャンパス
- 部局
- 未来科学技術共同研究センター
- 管理部署
- ー
- 設備担当者
- 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
- 予約サイトのURL
- https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/177
- 学外利用料金
※更新の都合で実際の料金とは異なる場合がございます。 - 本人利用： 2,375円 / 時間
- 学内利用料金
- 上記予約サイトのURLより設備統合管理システムにログインの上、ご確認ください。
- 備考
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