[605]レーザー共焦点顕微鏡(Lasertec)

ID
605
設備・機器分類
観察 | その他顕微鏡
利用区分
学内:〇, 学外:〇
メーカー
レーザーテック
型式
H1200
仕様・特徴
● 用途 試料表面のマイクロ~ナノメートルスケールの段差や粗さの非接触測定
● 性能 ピクセル数: 2048×2048
    階調: 16ビット
    共焦点顕微鏡機能による高さ測定機能 (測定精度(σ): 0.02μm)
    ミラウ型干渉による微細形状計測機能 (測定精度(σ): 00007μm)
用途・使用目的
キャンパス
片平キャンパス
部局
電気通信研究所
管理部署
設備担当者
利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
予約サイトのURL
https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/270
備考
<施設等使用料>
【クリーンルーム入室料】 国立大学法人東北大学電気通信研究所共同研究施設装置利用内規を適用

<消耗品費等>
国立大学法人東北大学電気通信研究所共同研究施設装置等利用内規を適用
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