[593]原子スケール評価分析システム(Si室)

ID
593
設備・機器分類
観察 | 物性評価
利用区分
学内:〇, 学外:〇
メーカー
Omicron
型式
仕様・特徴
反射高速電子回折(RHEED)。最大加速電圧は0kV。最大試料サイズ4mm角あるいは5.5mmΦ。
用途・使用目的
キャンパス
片平キャンパス
部局
電気通信研究所
管理部署
設備担当者
利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
予約サイトのURL
https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/259
学外利用料金

※更新の都合で実際の料金とは異なる場合がございます。
本人利用: 11,888円 / 時間
技術指導料: 6,760円 / 時間
クリーンルーム入室料: 1,636円 / 時間
防塵衣セット(衣・帽・靴)クリーニング: 970円 / 1式
学内利用料金
上記予約サイトのURLより設備統合管理システムにログインの上、ご確認ください。
備考
超高真空・高電圧を用いる装置のため粉体(微粒子やナノチューブ)、揮発性物質、液体の測定はできません。

<施設等使用料>
【クリーンルーム入室料】 国立大学法人東北大学電気通信研究所共同研究施設装置利用内規を適用

<消耗品費等>
国立大学法人東北大学電気通信研究所共同研究施設装置等利用内規を適用
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