[072]電界放出型電子プローブマイクロアナライザ

ID
072
設備・機器分類
観察 | 電子顕微鏡・EPMA
利用区分
学内:〇, 学外:〇
メーカー
日本電子
型式
JXA-8530F
仕様・特徴
電子像観察、定性分析、定量分析、元素分布観察、定量マッピング、相分析
・ 加速電圧: 1~30kV、二次電子分解能:3nm、倍率:×40~×300,000
・ 分析元素範囲: B~U 、X線分光範囲WDS: 0.087~9.3nm、EDSエネルギーレンジ: 20keV
・ 相分析プログラム: 波形分離、相分布、任意曲面マップ、粒子計測

【軟X線分光器 SXES日本電子(㈱)製SS-94000SXES について】
・取得エネルギー範囲:50-200eVを含む範囲以上。
・エネルギー分解能は、0.35eV 以下(Al-L 発光スペクトル@73eV 25%-75%高さでのエ
ネルギー幅)
・不等間隔回折格子(2種類)であり、それぞれの回折格子毎の分光範囲を同時に計
測できること。
1.エネルギー領域50-160eV 入射角4.0°1200l/mm(Auレプリカ)
2.エネルギー領域80-200eV 入射角3.0°1200l/mm(AuレプリカNiコート)

軟X線分光器(オプション)により、これまで検出が困難であったLiなどの軽元素が検出できるようになると共に、EPMAのWDS機能との併用により、ワンストップでの組成解析が可能。軽元素の状態マッピングに威力を発揮する。
用途・使用目的
キャンパス
片平キャンパス
部局
産学連携先端材料研究開発センター
管理部署
設備担当者
利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
予約サイトのURL
https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/43
備考
チャットボット ハギボー