- /
- キャンパス
キャンパス 一覧
検索結果437件
-
[114]ウェットベンチ(無機用・汎用)
・シリコン（Si）のみ使用可。・無機薬品の使用可（硫酸、硝酸、フッ酸、塩酸、過…
- 型式
- 日立プラント HNCD-4-SL #2
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
-
[115]ウェットベンチ(無機用・メタル専用)
・材料問わず使用可（重金属は要相談）・無機薬品の使用可（硫酸、硝酸、フッ酸、塩…
- 型式
- 日立プラント HNCD-4-SL #3
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
-
[116]ウェットベンチ(有機用・リソグラフィ)
・有機薬品を用いた基板洗浄・超純水の使用可。・小片から8インチウェハまで対応…
- 型式
- 日立プラント HNCD
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
-
[117]特殊型Siウェハ洗浄乾燥装置
Φ200㎜専用
- 型式
- エス・イー・エス 200SP
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
-
[118]KrFステッパ
Φ200㎜専用
- 型式
- キヤノン FPA3000-EX3
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
-
[119]コータデベロッパ
Φ200㎜専用
- 型式
- 東京エレクトロン Mark8
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
-
[120]アライナー
2.5インチレチクル
- 型式
- ユニオン光学 EMA-400
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
-
[121]中電流イオン注入装置
Φ200㎜装置、カットピース可。
- 型式
- 日新イオン機器 EXCEED2300AH
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
-
[122]低温拡散炉、水素処理炉
Φ200㎜装置、カットピース可。
- 型式
- 東京エレクトロン BEOL炉（α-8SE）
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
-
[123]プラズマ酸化・窒化
Φ200㎜装置、カットピース可。
- 型式
- 東京エレクトロン RLSA 2B
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
-
[124]LPCVD装置
Φ200㎜装置、カットピース可。
- 型式
- 東京エレクトロン Formula
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
-
[125]マイクロ波プラズマCVD装置(SiN)
Φ200㎜装置、カットピース可。
- 型式
- 東京エレクトロン LT-PECVD
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
