東北大学研究基盤利用ポータル

[1190]電界放射型電子顕微鏡（SU6600・多元）

型式

①日立ハイテクノロジーズ社製 ②ｵｯｸｽﾌｫｰﾄﾞ・ｲﾝｽﾄｩﾙﾒﾝﾂ社製　①低真空分析走査電子顕微鏡（SU6600） ②EDX・EBSD分析装置搭載

所在

多元物質科学研究所 / 片平キャンパス

[1191]イオンスパッタ装置（SU6600・多元）

型式

①日立製 ②サンユー電子製　①E-1030 ②SC-701

所在

多元物質科学研究所 / 片平キャンパス

[1192]電子プローブマイクロアナライザ（EPMA）

型式

日本電子㈱社製　JXA-8200

所在

多元物質科学研究所 / 片平キャンパス

[1193]大型ステージ走査型プローブ顕微鏡

型式

日立ハイテクフィールディング　SII、L-traceⅡ

所在

多元物質科学研究所 / 片平キャンパス

[1195]Ｘ線光電子分光分析装置（ESCA）

型式

①ｸﾚｲﾄｽｱﾅﾘﾃｨｶﾙﾘﾐﾃｨｯﾄﾞ社製　①ESCA-3400 ②ESCA-3400形特別ｵﾌﾟｼｮﾝ

所在

多元物質科学研究所 / 片平キャンパス

[120]アライナー

型式

ユニオン光学　EMA-400

所在

未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス

[1200]アクテス スピンコータ#2

型式

アクテス　ASC-4000W

所在

マイクロシステム融合研究開発センター / その他

[1201]ホットプレート

型式

Shamal　HHP-230SQ

所在

マイクロシステム融合研究開発センター / その他

[1202]両面アライナ #2

型式

SUSS　MA6/BA6

所在

マイクロシステム融合研究開発センター / その他

[1203]スピン乾燥機

型式

東邦化成　ZAA-5

所在

マイクロシステム融合研究開発センター / その他

[1204]セミオートワイヤボンダ

型式

TPT　HB16 セミオート

所在

マイクロシステム融合研究開発センター / その他

[1205]マイクロマニピュレータ

型式

マイクロサポート　

所在

マイクロシステム融合研究開発センター / その他