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設備・機器分類 一覧
検索結果736件
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[1109]KrFステッパ
小片～8インチ、最小線幅0.15μm以下、重ね合せ精度20nm、透明基板対応…
- 型式
- キヤノン FPA-3030EX6
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[111]FIB／SEM（NVision40）
トリプルビーム方式
- 型式
- Carl Zeiss Microscopy N-Vision40
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
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[1110]マスクレスアライナ#2
波長：405nm375nm、最小描画線幅：1µm、マスク作製（Cr、エマルジョ…
- 型式
- Heidelberg Instruments MLA150
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[1111]NLDエッチング装置
磁気中性子線による低真空プラズマエッチング：SiCや石英などの難エッチング材料向…
- 型式
- アルバック NLD-5700
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[1112]KLA Tencor 段差計 #2
触針式の表面形状測定
- 型式
- KLA Tencor P-16OF+
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[1113]日立FE-SEM
EDX付、低真空モード付、光学画像ナビゲーション付
- 型式
- 日立ハイテク SU8600
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[1118]ケミルミ VILBE FUSION-SOLO
【用途】ウエスタンブロット（化学発光）【撮影方法】Manual,Auto,…
- 型式
- VILBE FUSION-SOLO.6S.EDGE V.070
- 所在
- 医学系研究科 / 星陵キャンパス
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[112]高電圧パルス選択性粉砕装置
パルス電圧：90-200kVパルス周波数：1-5Hz電極ギャップ：10-40…
- 型式
- SELFRAG AG SELFRAG Lab S2.0
- 所在
- 多元物質科学研究所 / 片平キャンパス
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[1120]オメガフィルター透過電子顕微鏡
日本電子社製透過電子顕微鏡JEM-2010FEFオメガ型エネルギーフィルタ…
- 型式
- 日本電子株式会社 JEM-2010FEF
- 所在
- 多元物質科学研究所 / 片平キャンパス
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[1123]マスクアライナー（MA-20）
- 型式
- ミカサ MA-20
- 所在
- 電気通信研究所 / 片平キャンパス
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[113]ウェットベンチ(無機用・高清浄)
シリコングレード専用
- 型式
- 日立プラント HNCD-4-SL #1
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
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[1134]ハイスピードカメラ・SA-X2_No.2
- 型式
- Photron Fastcam SA-X2 (1024pix×1024pix 12500fps)
- 所在
- 流体科学研究所 / 片平キャンパス
