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60-
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電子顕微鏡・EPMA・FIB
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分解能(nm)
0.1-0.5
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1.6-2.0
2.6-3.0
加速電圧(kV)
0-20
21-30
31-40
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101-150
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倍率（×1000）
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試料サイズ(mm)
0-10
10-20
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50-
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