- ID
- 1111
- 設備・機器分類
- 加工・処理 ｜ 微細加工・デバイス作製・評価
- 利用区分
- ー
- メーカー
- アルバック
- 型式
- NLD-5700
- 仕様・特徴
- シリコン系以外の圧電体やガラス、サファイア、SiCなどのドライエッチング
サンプルサイズ：小片～4インチ、6インチ、または、8インチ
基板固定方式：メカチャック
プラズマ方式：NLD
ガス：CF4/SF6、CHF3/C4F8、Ar、H2、O2/N2、Cl2、BCl3 - 用途・使用目的
- ー
- キャンパス
- その他
- 部局
- マイクロシステム融合研究開発センター
- 管理部署
- ナノテク融合技術支援センター
- 設備担当者
- 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
- 予約サイトのURL
- https://www.cints.tohoku.ac.jp/
- 【閲覧用】設備予約カレンダー
- カレンダーは公開されていません。
- 備考
- 本設備・装置の利用申込は、「ナノテク融合技術支援センター(CINTS)」からお願いいたします。
