- ID
- 1109
- 設備・機器分類
- 加工・処理 ｜ 微細加工・デバイス作製・評価
- 利用区分
- ー
- メーカー
- キヤノン
- 型式
- FPA-3030EX6
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
対応オリフラ(OF)：4""と6""インチはOF(JEITA/SEMI)、8""インチはノッチ
カセットtoカセット
波長：248nm
最小露光線幅：0.15 µm以下
重ね合せ精度 ：15 nm
レチクル：6インチ（6025）
透明基板対応 - 用途・使用目的
- ー
- キャンパス
- その他
- 部局
- マイクロシステム融合研究開発センター
- 管理部署
- ナノテク融合技術支援センター
- 設備担当者
- 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
- 予約サイトのURL
- https://www.cints.tohoku.ac.jp/
- 【閲覧用】設備予約カレンダー
- カレンダーは公開されていません。
- 備考
- 本設備・装置の利用申込は、「ナノテク融合技術支援センター(CINTS)」からお願いいたします。
