- ID
- 647
- 設備・機器分類
- 加工・処理 ｜ 微細加工・デバイス作製・評価
- 利用区分
- 学内：〇, 学外：〇
- メーカー
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- 型式
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- 仕様・特徴
- ・クリールーム環境の利用。
（空調、ガス、純水、等）
・装置の設置可（要相談） - 用途・使用目的
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- キャンパス
- 青葉山キャンパス
- 部局
- 未来科学技術共同研究センター
- 管理部署
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- 設備担当者
- 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
- 予約サイトのURL
- https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/287
- 学外利用料金
※更新の都合で実際の料金とは異なる場合がございます。 - 本人利用： 577円 / 時間
- 学内利用料金
- 上記予約サイトのURLより設備統合管理システムにログインの上、ご確認ください。
- 備考
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