- ID
- 402
- 設備・機器分類
- 加工・処理 ｜ 微細加工・デバイス作製・評価
- 利用区分
- 学内：〇, 学外：〇
- メーカー
- ー
- 型式
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- 仕様・特徴
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- 用途・使用目的
- ー
- キャンパス
- 青葉山キャンパス
- 部局
- 工学研究科（電子情報システム・応物系）
- 管理部署
- ー
- 設備担当者
- 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
- 予約サイトのURL
- https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/199
- 学外利用料金
※更新の都合で実際の料金とは異なる場合がございます。 - 本人利用： 8,498円 / 時間
- 学内利用料金
- 上記予約サイトのURLより設備統合管理システムにログインの上、ご確認ください。
- 備考
- 利用の際は、ミニスーパークリーンルームの利用規定に従い、利用者講習の受講・協力金 ・施設利用料 ( 円/日) のご負担をお願いします。
