- ID
- 026
- 設備・機器分類
- 分析 ｜ X線分析
- 利用区分
- 学内：〇, 学外：〇
- メーカー
- リガク
- 型式
- XRD, SuperLab
- 仕様・特徴
- 用 途
・薄膜試料の結晶構造解析
特 徴
・最小精度0.00002oのゴニオメータを有するので、超精密なX線回折測定が可能。
・数nmの極薄膜の結晶構造を測定できる面内方位X線回折測定(In-Plane XRD)に対応。
・X線反射率測定(XRR)に対応し、有機/無機、結晶/非結晶を問わず、膜厚・密度解析が可能。
・測定室内を恒温管理しており、試料や分光結晶などの温度もモニタリング可能。
・その他にも、逆格子マッピング測定や極点図測定、微小角入射小角散乱測定(GI-SAXS)に対応。 - 用途・使用目的
- ー
- キャンパス
- 片平キャンパス
- 部局
- 電気通信研究所
- 管理部署
- 電気通信研究所
- 設備担当者
- 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
- 予約サイトのURL
- https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/17
- 学外利用料金
※更新の都合で実際の料金とは異なる場合がございます。 - 本人利用： 2,127円 / 時間
委託利用： 5,865円 / 時間
技術指導料： 3,736円 / 時間
記録用CD： 26円 / 枚 - 学内利用料金
- 上記予約サイトのURLより設備統合管理システムにログインの上、ご確認ください。
- 備考
- ４測定軸＋１制御軸の５軸測定が可能です。ゴニオメータを最小0.00002°で制御可能で、In-Plane XRDやGI-SAXSなどの様々な測定を精密に行えます。
消耗品等：記録用CD
