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36_マイクロシステム融合研究開発センター
![[1113]日立FE-SEM〔リンク〕](https://portal.cfc.tohoku.ac.jp/cms/wp-content/themes/cms-template/images/img_dummy_.png)
2026.03.29
[1113]日立FE-SEM〔リンク〕
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36_マイクロシステム融合研究開発センター
2026.03.29
[1112]KLA Tencor 段差計〔リンク〕
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36_マイクロシステム融合研究開発センター
2026.03.29
[1111]NLDエッチング装置〔リンク〕
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36_マイクロシステム融合研究開発センター
2026.03.29
[1110]マスクレスアライナ#2〔リンク〕
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36_マイクロシステム融合研究開発センター
2026.03.29
[1109]KrFステッパ〔リンク〕
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36_マイクロシステム融合研究開発センター
2026.03.29
[1108]BEAMER Full Package〔リンク〕
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35_材料科学高等研究所
2026.03.29
[1107]TPD
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35_材料科学高等研究所
2026.03.29
[1106]TEM
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27_多元物質科学研究所
2026.03.29
[1105]マグネトロンスパッタ装置・カーボンコーター
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27_多元物質科学研究所
2026.03.29
[1104]電界放出型走査電子顕微鏡 (S-4800・多元)
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23_加齢医学研究所
2026.03.29
[1100]デジタルPCR（QX200）
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12_工学研究科（機械・知能系）
2026.03.29
[1099]液体シンチレーションカウンタ
