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機関・部局 一覧
検索結果680件
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[243]超高真空CVD装置〔リンク〕
- 型式
- エア・ウォーター VCE-S2103TH
- 所在
- 工学研究科（機械・知能系） / 青葉山キャンパス
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[244]住友精密工業(株)製 Deep RIE装置 一式〔リンク〕
- 型式
- 住友精密工業 MUC21 SR
- 所在
- 工学研究科（機械・知能系） / 青葉山キャンパス
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[245]シリコン酸化皮膜形成用O3･TEOS/CVD装置〔リンク〕
- 型式
- ユーテック
- 所在
- 工学研究科（機械・知能系） / 青葉山キャンパス
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[246]日本電子(株)製 サーマル電界放出形走査電子顕微鏡〔リンク〕
- 型式
- JEOL JSM-7800F
- 所在
- 工学研究科（マテリアル・開発系） / 青葉山キャンパス
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[247]薄膜形成用プラズマCVD装置〔リンク〕
- 型式
- サムコ PD-220NL
- 所在
- 工学研究科（機械・知能系） / 青葉山キャンパス
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[248]住友 PECVD〔リンク〕
SiN、SiO2、最高温度：350℃、低応力SiN成膜
- 型式
- 住友精密 MPX-CVD
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[249]マスク露光システム装置〔リンク〕
- 型式
- SUSS MicroTec MA8 Gen3 Thu1
- 所在
- 工学研究科（機械・知能系） / 青葉山キャンパス
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[250]熱CVD〔リンク〕
Epipoly-Si(non-doped,doped)、Poly-Si(non…
- 型式
- 国際電気
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[251]XRD〔リンク〕
サンプルサイズ：小片～6インチ、X線回折測定、1000℃までの高温環境での測定可…
- 型式
- Bruker D8 DISCOVER
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[252]DeepRIE装置#1〔リンク〕
Siの深堀エッチング、メカニカルチャック
- 型式
- 住友精密 MUC-21
- 所在
- マイクロシステム融合研究開発センター / その他
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[253]光洋サーモシステム(株)製 ランプアニールシステム〔リンク〕
- 型式
- 光洋サーモシステム RLA-1208-V
- 所在
- 工学研究科（機械・知能系） / 青葉山キャンパス
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[254]フーリエ変換赤外分光光度計〔リンク〕
- 型式
- 日本分光 FT/IR-6300ST
- 所在
- 工学研究科（本部） / 青葉山キャンパス
