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19_未来科学技術共同研究センター 一覧
検索結果54件
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[118]KrFステッパ
Φ200㎜専用
- 型式
- キヤノン FPA3000-EX3
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
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[119]コータデベロッパ
Φ200㎜専用
- 型式
- 東京エレクトロン Mark8
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
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[120]アライナー
2.5インチレチクル
- 型式
- ユニオン光学 EMA-400
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
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[121]中電流イオン注入装置
Φ200㎜装置、カットピース可。
- 型式
- 日新イオン機器 EXCEED2300AH
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
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[122]低温拡散炉、水素処理炉
Φ200㎜装置、カットピース可。
- 型式
- 東京エレクトロン BEOL炉（α-8SE）
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
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[123]プラズマ酸化・窒化
Φ200㎜装置、カットピース可。
- 型式
- 東京エレクトロン RLSA 2B
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
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[124]LPCVD装置
Φ200㎜装置、カットピース可。
- 型式
- 東京エレクトロン Formula
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
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[125]マイクロ波プラズマCVD装置(SiN)
Φ200㎜装置、カットピース可。
- 型式
- 東京エレクトロン LT-PECVD
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
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[126]常圧CVD装置
400℃、SiO2成膜。
- 型式
- TEMPRESS PYROX-216E
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
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[127]マイクロ波Si・絶縁膜RIE装置
Φ200㎜装置、カットピース可。
- 型式
- 東京エレクトロン
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
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[132]特殊型室温枚葉洗浄装置A
Φ200㎜専用
- 型式
- リアライズ ・アドバンストテクノロジ 金属薄膜用洗浄装置
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
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[134]電子ビーム露光装置
・基板サイズは20㎜角以上。・最小寸法は100nm程度。
- 型式
- クレステック CABL-9520CE
- 所在
- 未来科学技術共同研究センター / 青葉山キャンパス
