[1163]イオンスパッタ装置

ID
1163
設備・機器分類
ー
利用区分
学内:〇, 学外:×
メーカー
日立
型式
E1045
仕様・特徴
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用途・使用目的
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キャンパス
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部局
工学研究科(化学・バイオ系)
管理部署
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設備担当者
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予約サイトのURL
https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/1048?utm_source=portal&utm_medium=link
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備考
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