[721]EVG プラズマ活性化装置〔リンク〕

設備・機器
ID
721
設備・機器分類
加工・処理 | 微細加工・デバイス作製・評価
利用区分
メーカー
EVG
型式
EVG810
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ、直接接合前のプラズマ活性化処理
用途・使用目的
キャンパス
その他
部局
マイクロシステム融合研究開発センター
管理部署
ナノテク融合技術支援センター
設備担当者
利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
予約サイトのURL
https://www.cints.tohoku.ac.jp/
備考
本学に別途設置されている「ナノテク融合技術支援センター」での手続きに沿って使用申込みをしていただくことになりますので、上記受付窓口リンクページをご確認ください。
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